| Плазменные технологии | |
| Аннотация курса | Физические основы плазменных технологий (ПТ): эмиттеры и ионизаторы, газоразрядные системы (разряды в магнитном поле, ВЧ и СВЧ разряды, дуги, корона), взаимодействие плазма-поверхность, диагностика поверхности, формирование пучков частиц. Оборудование ПТ: плазмотроны, плазменные пушки и ускорители, ионные источники. Вакуумно-плазменные технологии: нанесение и обработка пленок и покрытий, модификация поверхности, создание микроструктур. Высокотемпературные ПТ: электрометаллургия, плазмохимические реакторы, озонаторы, очистка дымов, сварка, резка, нанесение покрытий. |
| Нагрузка | лекции 3 ч/нед, экзамен |
| Лектор | Чуркин Игорь Николаевич |
| Примечания | читается раз в два года |
| Семестр | 5-6 курсы, весенний семестр |
Программы и задания курса |
|
| Формат MSWORD | Программа курса |