Новосибирские ученые создали новый полимер для рентгеновской литографии

Ученые Новосибирского института органической химии СО РАН синтезировали акрилат-силоксановый гибридный мономер - фотополимерный материал c добавлением кремния, который обладает чувствительностью к синхротронному излучению и хорошо подходит для создания сложных микроструктур на твердых подложках методом рентгеновской литографии.

Подробнее

РИА.Сибирь