Создана лаборатория, результаты которой могут быть использованы в развитии микроэлектронной промышленности России
- 03.10.2024
В Институте ядерной физики им. Г. И. Будкера СО РАН в рамках проекта по созданию молодежных лабораторий Министерства науки и высшего образования РФ организована лаборатория имплантерных ионных источников. Ее программа включает решение различных фундаментальных задач: изучение взаимодействия ионного пучка с материалами, получение ионных пучков с ультрамалым эмиттансом и вопросы их транспортировки в электродинамических системах. Результаты научных исследований могут быть использованы в развитии микроэлектронной промышленности России.